组装。

徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。

「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」

办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。

春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术o

尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有着独到之处，甚至并不落后海外技术多少。

如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。

贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。

尤其现在还进行了资源整合。

闻言也当即讲出自己的看法和决心。

「眼下我们有了极紫外光源，并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国内技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」

「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什幺接过话茬补充。

贺鹏涛笑呵呵回复句。

「那就刚好比一比，看看谁的极紫外光刻机，综合性能更加领先。」

徐铭听完两人的对话，嘴角也不由得微微上扬，对阿斯麦公司的光刻机，还真涌现出些许期待。

他也想看看，采用了全新物理现象理论，研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。

估摸着拿下阿斯麦在行业中的地位，恐怕不会太难。

思维思忖至此，他很快轻微摇了下头，暂时把这件事抛在脑后，主动提起接下来的正事。

「后续极紫外光刻机的研发，就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了，如果遇到什幺技术瓶颈的话，随时通知我参加研讨会商议解决方案。」

「等璇玑系统的开发稳定后，我会多关注这边的。」

目前全新随机几何分析框架的构建，正值最后的关键几个证明步骤。

等完成此理论，便能正式着手开发新的算法。

在这种情况下，他肯定不能逗留在微电子装备，今天下午就要赶回燕京继续推导。

主要璇玑系统和光刻机，都是高端晶片制造产业链中的重要环节，只不过一个属于前端一个属于后端。

想实现百分之百国产化升级，就必须把璇玑系统和国产极紫外光刻机，同时研发出来才行，否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。

无论贺鹏涛还是丁顺安，他们自然都清楚，璇玑系统的重要性。

不过在听完徐铭这番话之后，互相对视一眼，依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。

本以为徐铭选择把精力放在新一代eda上，只是藉助总设计师的身份，好让国内eda公司更好整合技术，加快全新一代极紫外光eda工具算法问世。

结果在璇玑系统项目发布后，他们才意

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